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半導體保溫管道電加熱夾套

半導體保溫管道電加熱夾套

簡要描述:半導體保溫管道電加熱夾套:DIFF、ETCH、CVD、EPI部門,Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。

產品型號: VC-DJR-150

訪問次數:1336

更新時間:2023-11-20

詳細說明:


半導體保溫管道電加熱夾套的前因:

由于半導體生產常常需要使用各種化學氣體,這些氣體也會隨著工藝的過程,由真空泵從反應腔體抽出,形成各種有毒有害的工藝尾氣,這些氣體如直接排到大氣中就會形成大氣污染。所以半導體生產廠家都需要對工藝設備尾氣進行有效的處理,以減少對環境的污染。因此,在半導體制造機臺中,尾氣處理裝置是半導體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過程中,氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等,經過在真空反應室內的一系列反應后,氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結晶,因此尾氣處理過程中結晶體會附著在排氣管的管壁上,極易對排氣管進行堵塞,同時造成排氣管的損傷。此過程會造成尾氣處理不CD,同時提高生產成本。

需要加熱馬甲的部門:

DIFF、ETCH、CVD、EPI部門,Pumping linePump exhaust管路需加裝加熱夾套。

加熱馬甲作用:

通過升高管路工作溫度,減少管內介質結晶,避免管路堵塞,減少PM周期,提高產能。

加熱馬甲溫度要求:

PVD150°、170°(也有180°)

ETCH80°-120°

半導體保溫管道電加熱夾套

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